簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="主動消磁系統"


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    主動式磁場消除系統研究
    • /101/ 碩士
    • 研究生: 孫維立 指導教授: 馬自莊
    • 極低頻磁場對於晶圓廠製程之良率有不良的影響,當製程低於14奈米,極低頻磁場對製程與檢測設備之影響更為嚴重,因此晶圓廠針對易受極低頻磁場影響之設備,如電子顯微鏡SEMs、TEMs、STEMs、FIB …
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